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超精密加工与先进制造平台

重要意义

服务对象

双向赋能

“科研 产业”

超精密机加工（ μm级控制）
3D打印及微智造前沿工艺

  • 五轴联动加工中心 C500

  • 五轴联动加工中心 U500

  • 三轴联动加工中心 V11L

  • 车削中心 TN500-1600

  • 电极雕刻加工中心 HD-540DK

  • 万能外圆磨床MGA1432A

  • 电火花线切割SL430L

  • 三坐标测量系统 Glory Touch

技术参数 精度范围
行程范围

X=700mm

Y=550mm

Z=500mm
主轴鼻端到台面距离 120–620mm
工作台尺寸 Φ500×400mm
台面最大承重 300kg
主轴转数 15000rpm
驱动功率 8.5/33.5kW
主轴最大扭矩 63/135Nm
最大切削速度 12m/min
快速移动 48m/min
定位精度 0.006mm
重复定位精度 0.004mm
标准冷却系统

流量40L/min

压力7bar
水箱容量 230L
排屑 链板排屑器
空气压力 0.7MPa
技术参数 精度范围
行程范围

X=700mm

Y=650mm

Z=450mm
主轴鼻端到台面距离 110–560mm
工作台尺寸 Φ500mm
台面最大承重 500kg
主轴转数 20000rpm
驱动功率 20/24kW
主轴最大扭矩 48/58Nm
最大切削速度 12m/min
快速移动 36m/min
定位精度 0.006mm
重复定位精度 0.003mm
标准冷却系统 流量40L/min 压力6bar
水箱容量 195L
排屑 链板排屑器
空气压力 0.7MPa
技术参数 精度范围
行程范围

X=1100mm

Y=600mm

Z=600mm
主轴鼻端到台面距离 150–750mm
工作台尺寸 1200×600mm
台面最大承重 1000kg
主轴转数 12000rpm
驱动功率 9/22kW
主轴最大扭矩 63/135Nm
最大切削速度 12m/min
快速移动 36m/min
定位精度 0.008mm
重复定位精度 0.006mm
标准冷却系统 压力6bar
水箱容量 315L
排屑 链板排屑器
空气压力 0.6MPa
技术参数 精度范围
行程范围

X=250mm

Z=1600mm
最大车削直径 Φ380mm
最大车削长度 1600mm
床鞍最大旋转直径 Φ600mm
拖板最大旋转直径 Φ360mm
主轴转数 4000rpm
主轴锥孔 Φ69 (1:20)
驱动功率 X1.8/Z2/主轴22kW
扭矩 X7.5/Z10/主轴106Nm
最大切削速度 10m/min
快速移动 20m/min
定位精度 0.005mm
重复定位精度 0.002mm
尾座套筒锥孔 MT5
刀塔刀位数量 12
外径刀柄 □25
镗刀刀柄 Φ40
动力头最高转速 5000rpm
标准冷却系统 压力6bar
技术参数 精度范围
行程范围

X=350mm

Y=385mm

Z=150mm
主轴鼻端到台面距离 20–200mm
工作台尺寸 480×450mm
台面最大承重 100kg
主轴转数 60000rpm
驱动功率 2.5kW
最大切削速度 10m/min
快速移动

XY–20m/min

Z–15m/min
定位精度 ±0.005mm/300mm
重复定位精度 ±0.005mm/300mm
技术参数 精度范围
外圆磨削直径 Φ8–Φ320mm
内孔磨削直径 Φ16–Φ125mm
最大外圆磨削长度 1000mm
最大内孔磨削深度 125mm
最大工件重量 150kg
工作台最大回转角度

顺时针 3°

逆时针 6°
工件主轴转数 30–200rpm
砂轮主轴转速 835/1670rpm
砂轮架回转角度 ±30°
手动最小进给量 0.001mm
内孔砂轮主轴转速 10000/15000rpm
技术参数 精度范围
行程范围

X=400mm

Y=300mm

U=60mm

V=60mm

Z=200mm
最大工件尺寸 700×450×180mm
最大工件重量 350kg
最大加工锥度/厚度 ±15°/60mm
工作台尺寸 660×410mm
XY最大进给速度 800mm/min
最大加工电流 30A
最小指令单位 0.001mm
电极丝材质 黄铜丝
标准线径 0.15–0.3mm
线张力 200–2500gf
最大线速度 400mm/s
标准冷却系统 自动水质控制
技术参数 精度范围
行程范围

X=1000mm

Y=1500mm

Z=800mm
工件最大重量 1500kg
长度测量最大允许误差 2.5μm +3.3L/1000
单探针形状最大允许误差 2.7μm
重复精度最大允限 2.5μm
3D运动速度 520mm/s
供气压力 6–7.9bar
探测分度角（俯仰） -115° – +90° step 5°
探测分度角（俯仰） ±180° step 5°
探测系统定位重复精度 0.5μm
触测力 Y–Z平面 0.1N
触测力 Z平面 0.8N

  • 光固化3D打印iSLA550

  • 气溶胶喷墨打印系统

  • 电流体动力学喷墨打印系统

  • 激光刻蚀系统

  • 真空蒸发镀膜系统

技术参数 精度范围
最大成型尺寸 500×500×300mm
扫描速度 6–10 m/s
分层厚度 0.05–0.15 mm
工艺类型 SLA光固化打印
打印材质 光敏树脂
激光类型 二极管泵浦固体激光器
涂铺方式 真空吸附
成型材料密度 1.1 – 1.15 g/cm3
成型材料黏度 190–530cps
成型后抗弯模量 1500–2775Mpa
成型后抗弯强度 45–85Mpa
技术参数 精度范围
工作面积 300×300mm
Z轴升降高度 105mm
打印速度 100m/s
最高打印精度 8μm
重复定位精度 ±1μm
打印方式 气动点射 机械点射
喷印材料黏度 1–1000cps
湿膜厚度 ≤100nm
视觉定位

全局摄像头500万像素

局部摄像头2000万像素

跟踪摄像头160万像素
加热模式 载物台加热
固定方式 真空吸附
雾化模式

功率可调超声雾化

多级调压气动雾化
技术参数 精度范围
工作面积 200×200mm
Z轴升降高度 100mm
EHD喷头喷口直径 1–100μm
点直径及线宽 ≥1μm，≥0.5μm
溶液黏度 0.5–10000cps
打印方式

按需打印

连续打印

喷雾薄膜

任意分辨率和方向

像素及矢量打印

点阵打印
视觉系统 CCD光学观测照明及监控
打印速度 50mm/s
底板功能

底板加热

超平底板

纳米微孔陶瓷底板

真空吸附
最大承重 ≤5kg
技术参数 精度范围
工作面积 300×300mm
Z轴升降高度 50mm
工作台定位精度 ±2μm
工作台重复定位精度 ±1μm
激光器波长 355nm
激光器功率 20W
激光器脉冲宽度 10ps
激光器单脉冲能量 50μJ
激光器频率 1–2000kHz
振镜单次切割幅面 40×40mm
振镜最小聚焦光斑 9μm
振镜最小线间距 10μm
物镜倍数 10X
物镜最小光斑 3μm
物镜最小线宽 3μm
物镜最小线间距 3μm
视觉CCD系统定位精度 3μm
同轴CCD系统 1280*1024像素
功能

激光快速定位

工作台、振镜、物镜联动

自动调焦

支持DXF文件
技术参数 精度范围
真空室尺寸 400×400×400mm
基片尺寸 4英寸
加热最高温度 800±1℃
蒸距 250–300mm 可调
极限真空度 ≤6.67×10⁻⁵Pa
抽速 35min 大气到5×10⁻⁴Pa
保压性能 12小时 ≤5Pa
坩埚材质 氮化硼
坩埚容量 10cc
热蒸镀材质

Au, Ag, Cu等低熔点金属

低熔点有机物

单层膜/多层膜

核心技术与服务

平台应用领域

  • 1

    能源化工与催化

    催化剂制备

    表面微结构催化剂、多种材料微纳级点阵梯度等高通量催化剂

    微化工系统

    微反应器、石化微观装置(如换热微扰流器)

  • 2

    电化学与传感器技术

    微电极制造

    微量样品电化学传感器

  • 3

    氢能技术与装备

    核心零部件

    裂解高压阀门、储氢罐内胆封头等

    双极板超精密加工

    耐腐蚀导电涂层制备

  • 4

    新能源与储能系统

    催化剂制备

    表面微结构催化剂、多种材料微纳级点阵梯度等高通量催化剂

    微化工系统

    微反应器、石化微观装置(如换热微扰流器)

  • 5

    高端装备与先进制造

    航空航天

    仿生驱动部件3D打印、精密核心零件

    机器人及自动化

    精密模具、核心零部件加工与快速研发验证

精选案例

联系方式

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0411-39787109

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