催 化 论 坛
『第120期』
探针显微镜的产业应用及光学联用技术
张开锋 研究员
中国科学院沈阳自动化研究所
时间：2024年12月18日（三）14:00
地点：能源基础楼一楼会议室
报告摘要：
微纳显微技术及仪器对半导体材料研究与工业制造不可或缺。针对半导体芯片等微电子制品在生产研发中的表面形貌、局域组分分布、光电磁等在内的微观不均匀性的测量需求，开发了软磁碳纤维探针和磁力显微镜工况磁场检测技术，实现了对硬盘磁头工况高频磁场的高速、高精度测量，填补了硬盘制造领域早期在线磁场检查的国际空白；发展了扫描电镜原子力显微镜集成测量设备和碳纳米线探针，克服了环境噪声等技术难题，实现了单机半导体芯片3D测量；发明了等离激元波导针尖并开创了低背景针尖增强拉曼方法，解决了无法测量高背景材料的难题。
报告人简介：
张开锋，中国科学院沈阳自动化研究所研究员，博士生导师。日本京都大学电子工学专业博士。国家级领军人才引进计划获得者。曾在世界500强企业日本最大综合电气企业-日立集团直属研究开发中心长期从事微纳显微技术的研究及相关工业级仪器设备的研发工作。针对半导体芯片等微电子制品在生产研发中的表面形貌、局域组分分布、光电磁等在内的微观不均匀性的测量需求，负责开发了全球唯一应用扫描探针显微镜技术的在线全数检查设备和全球首台半导体产线用电子显微镜与扫描探针显微镜联用三维量测系统。发明了等离激元波导针尖并开创了低背景针尖增强拉曼方法，解决了无法测量高背景材料的难题。在日立集团工作的15年间，以第一发明人申请发明专利50余件，发表SCI论文10余篇。开发设备在TDK、西部数据、英特尔等知名存储和芯片制造商被实际应用。于2024年10月全职回国加入中国科学院沈阳自动化研究所机器人与智能系统全国重点实验室，组建微纳光学量测与表征课题组。
欢迎感兴趣的老师和同学参加！
